Nodweddion proses ysgythru delfrydol

Dylai'r broses ysgythru ddelfrydol fod â'r nodweddion allweddol canlynol i fodloni gofynion manwl uchel gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion a meysydd prosesu micro nano eraill:

① Etching anisotropig, sy'n golygu ysgythriad fertigol yn unig heb ddrilio ochrol . dim ond fel hyn y gallwn sicrhau union ddyblygu siapiau geometrig sy'n union yr un fath â'r rhai ar y gwrthiant ar y ffilm ysgythrog;
② Mae detholusrwydd ysgythru da yn golygu bod cyfradd ysgythru'r gwrthiant a ddefnyddir fel mwgwd a'r ffilm neu'r deunydd tenau sylfaenol yn llawer is na chyfradd y ffilm denau ysgythrog, er mwyn sicrhau effeithiolrwydd y masgio gwrthsefyll yn ystod y broses ysgythru ac atal difrod i ddeunyddiau eraill o dan y ffilm denau oherwydd gor -ysgythru;
③ sypiau prosesu mawr, rheolaeth hawdd, cost isel, llygredd amgylcheddol lleiaf posibl, sy'n addas ar gyfer cynhyrchu diwydiannol .